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隧道式LCM老化试验机

Capacity：180 LCM(37”) ~ 360 LCM(23”) 15 Cart/Chamber VDD：3.3/5/12V @3A VBL：VBL：12/24V @10A max. IDD OCP：Selectable 0.5~3.0A，step 0.1A IBL OCP：Selectable 0.5~10.0A，step 0.2A Resolution：VGA~WUXGA、User Define Defect Inspection Cursor Pulse-Power Test Function Models：24 Patterns：32 CIM system

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